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本发明公开了一种用于单面化学机械平坦化加工动态感知的监测装置，属于超精密加工监测技术领域。本监测装置安装在单面研磨抛光机上，可实现平面光整过程中工件状态的在线实时监测，其特征在于：包括传感器单元：包含至少两种传感器采集监测信号用于联合监测；...
该专利属于上海工程技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海工程技术大学授权不得商用。

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