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一种湿法刻蚀装置及其使用方法和传送装置，其中湿法刻蚀装置包括：若干相邻的湿法单元，用于对晶圆进行刻蚀处理；第一传送装置，用于将晶圆在任意湿法单元之间进行传送。所述湿法刻蚀装置能够缩短晶圆在制程过程中的传送时间，有利于提高生产效率。有利于提高...
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