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本发明公开了基于并行注意力补偿机制的FPN晶圆表面缺陷检测方法，包括：1）基于ResNet网络进行晶圆特征提取；2）融合注意力的特征图金字塔网络A
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该专利属于扬州大学所有，仅供学习研究参考，未经过扬州大学授权不得商用。

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