温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种测温装置及化学气相沉积设备，涉及测温技术领域。测温装置包括水平布置的多级结构及测温元件。多级结构具有沿其轴向可拆卸连接的多级套筒，多级结构沿其轴向具有相对的第一端以及第二端，第一端为封闭端，任意相邻的两级套筒中，靠近第一端的套...
该专利属于新美光（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新美光（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。