温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体晶圆位置检测装置，包括：腔室，顶部具有腔室开口；透明窗口，设置在真空的腔室的开口处，与腔室开口形成密封连接；承片台，位于真空腔体内部；晶圆，位于承片台上；发光装置，位于腔室外部，且位于透明窗口的上方；反光装置，在腔室中，且位于腔室...
该专利属于上海凯世通半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海凯世通半导体股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。