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本实用新型涉及一种单片式晶圆清洗工艺中的化学品回流装置，所述化学品回流装置的进液口与单片式晶圆清洗腔体的出液口管路连接，所述化学品回流装置的出液口与清洗液体储存装置的进液口管路连接；所述化学品回流装置被固液分离膜以及液体透过膜分隔为过滤腔室...
该专利属于至微半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过至微半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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