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本发明公开了一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置，包括放电辊液冷回路与放电电极液冷回路；放电辊液冷回路与放电电极液冷回路之间并联；放电辊液冷回路与放电电极液冷回路均包括对应的冷却液箱、冷却泵、换热箱；冷却液箱并列安装于同一个液冷箱中...
该专利属于南京珀斯佩特电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京珀斯佩特电子科技有限公司授权不得商用。

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