一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置，包括放电辊液冷回路与放电电极液冷回路；放电辊液冷回路与放电电极液冷回路之间并联；放电辊液冷回路与放电电极液冷回路均包括对应的冷却液箱、冷却泵、换热箱；冷却液箱并列安装于同一个液冷箱中，液冷箱中两个不同的冷却液箱出液口均设置温度传感器；温度传感器同通过继电器与其对应的冷却泵的供电相连；从冷却液箱中流出的液体通过其相应的冷却泵后流入放电辊或者放电电极后进入同一个换热箱；换热箱中的冷却管呈螺旋状，从换热箱出来的冷却管将冷却液传输至液冷箱中。本发明专利技术不仅包括放电辊冷却回路，还包括放电电极冷却回路；通过两个回路的配套使用能够明显提高装置的冷却效果。明显提高装置的冷却效果。明显提高装置的冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置


[0001]本专利技术涉及液冷
，特别涉及一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置。

技术介绍

[0002]液冷又称为水冷，液冷散热的原理为：在一个密闭的液体循环装置，通过泵产生的动力，推动密闭系统中的液体循环，将热沉吸收的芯片产生的热量，通过液体的循环，带到面积更大的散热装置，进行散热，冷却后的液体在次回流到吸热设备，如此循环往复，由于液冷散热效率高，热传导率为传统风冷方式的20倍以上，可以解决几百至数千瓦的散热问题，在激光、军工、医疗、电力电子、工业设备等行业有着广泛的应用。
[0003]低温等离子金属薄膜处理装置对金属薄膜的表面进行低温等离子放电处理，在放电过程中，放电辊以及高压电极均会产生热量，因此需要配合相关的液冷装置实现降温。现有技术中已经使用在放电辊内部设置内管结构，内管通入冷却液，实现对放电辊的冷却，通过通风设备或者抽风设备对放电辊和电极管上的高温进行散热；但是到设备功率比较大，或者当装置长时间进行工作时其工作的温度还是超出预设的工作温度，导致对金属薄膜表面的处理并本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置，所述低温等离子金属薄膜处理装置包括放电辊与放电电极；其特征在于：所述放电辊与放电电极均为空心；放电辊与放电电极的中空部分均能够通入冷却液；所述液冷装置包括放电辊液冷回路与放电电极液冷回路；所述放电辊液冷回路与放电电极液冷回路之间并联；所述放电辊液冷回路与放电电极液冷回路均包括对应的冷却液箱、冷却泵、换热箱；两个冷却液箱并列安装于同一个箱体中，所述液冷箱中两个不同的冷却液箱的出液口均设置温度传感器；所述温度传感器同通过继电器与其对应的冷却泵的供电相连；从冷却液箱中流出的液体通过其相应的冷却泵后流入放电辊或者放电电极后进入换热箱；所述换热箱中的冷却管呈螺旋状，从换热箱出来的冷却管将冷却液传输至液冷箱中；所述换热箱表面设置多个导热的插排翅片；所述换热箱中设置散热风道，散热风道中设置排风扇实现与外界空气的流动。2.根据权利要求1所述的一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置，其特征在于：所述冷却泵的功率由控制系统自动控制，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘泓麟，梁恒瑞，郑俣垚，黄成硕，梅丹华，崔行磊，张凯，万良庆，方志，
申请(专利权)人：南京珀斯佩特电子科技有限公司，
类型：发明
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