下载一种用于石墨碳化硅坩埚底座装置的技术资料

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本实用新型提供了一种用于石墨碳化硅坩埚底座装置,它包括底板,所述底板的顶部固定连接有支撑筒,所述支撑筒的顶部固定连接有顶板,所述顶板的顶部沿周向均匀滑动连接有三个支撑块,所述支撑筒的内腔连接有变径组件,所述变径组件包括螺杆,所述螺杆的顶端和...
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