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用于干燥圆盘形基底的设备，包括伸长体(1)，其具有顶表面、底表面和圆周表面；包括在该顶表面中的孔，该孔形成通道(6)，该通道(6)延伸至该伸长体(1)的下部排放部分(B)，并且该孔被形成倒角，该倒角具有倒角深度(L1)和倒角角度(α)，形成...
该专利属于硅电子股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅电子股份公司授权不得商用。

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