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自动教学外壳系统包括多个表面，其至少部分地包围自动教学外壳系统的内部容积。自动教学外壳系统进一步包括至少部分地设置在内部容积内的自动教学销。自动教学销是可扫描的特征，其在自动教学外壳系统内具有固定位置。自动教学外壳系统进一步包括耦接到多个表...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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