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一些实施例包含一种形成组合件的方法。在导电结构上方形成交替第一阶层及第二阶层的第一堆叠。形成延伸穿过所述第一堆叠的第一开口。用第一内衬材料加衬里于所述第一开口的侧壁。将所述第一内衬材料转化为第一电荷阻挡材料。在所述第一开口内形成牺牲材料。在...
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