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本实用新型公开了CVD配气接头组件安装用轨道托盘，涉及小型的CVD(气相沉积)系统技术领域，解决现有不能更换和安装不同长度反应管道的技术问题，包括第一配气接头组件和第二配气接头组件，所述第一配气接头组件和所述第二配气接头组件之间可拆卸连接有...
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