下载晶圆包装盒的技术资料

文档序号:34306827

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本实用新型涉及晶圆包装盒,包括底壳、与底壳配合的上盖、设置于底壳中用于支撑晶圆的片架、以及设置于上盖中用于对晶圆进行限位的弹性架;上盖上设有对片架进行限位的第一限位组件;第一限位组件包括凸出设置于上盖中的第一限位凸筋,第一限位凸筋包括与片架...
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