晶圆包装盒制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆包装盒，包括底壳、与底壳配合的上盖、设置于底壳中用于支撑晶圆的片架、以及设置于上盖中用于对晶圆进行限位的弹性架；上盖上设有对片架进行限位的第一限位组件；第一限位组件包括凸出设置于上盖中的第一限位凸筋，第一限位凸筋包括与片架配合的限位弧面和/或限位斜面；上盖上设有对弹性架进行限位的第二限位组件。该晶圆包装盒通过在第一限位凸筋上设置于该片架配合的限位弧面和/或限位斜面，进而可极大减小该上盖与该片架的接触面积，能减少在运输过程中因摩擦和碰撞产生颗粒物，提高产品洁净度；通过在该上盖中设置第二限位组件，从而可能防止弹片架在运输过程中因撞击而发生变形，防止晶圆错槽或者弹片架和晶圆受损。架和晶圆受损。架和晶圆受损。

Wafer packaging box

【技术实现步骤摘要】
晶圆包装盒


[0001]本技术涉及晶圆储存与运输
，更具体地说，涉及一种晶圆包装盒。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的急速发展，晶圆对包装产品的要求也越来越高，目前市场上用于运输和存储的晶圆包装盒，通常由片架和安装在上盖的弹性架对晶圆进行固定，相关技术中的晶圆包装盒存在以下缺点：
[0003]1.片架与上盖上的接触面积较大，在运输过程中因摩擦和碰撞容易产生颗粒物，影响产品洁净度。
[0004]2.弹性架两侧通过弹性卡台和上盖的限位组件和卡勾进行安装，弹性卡台在运输/跌落过程中容易发生变形，而弹性架中间位置为没有弹性的限位筋，在运输/跌落过程中，弹性架容易变形导致晶圆错槽，严重时可能导致弹性架和晶圆碎裂。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆包装盒。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆包装盒，包括底壳、与所述底壳配合的上盖、设置于所述底壳中用于支撑晶圆的片架、以及设置于所述上盖中用于对晶圆进行限位的弹性架；
[0007]所述上盖上设有对所述片架进行限位的第一限位组件；所述第一限位组件包括凸出设置于所述上盖中的第一限位凸筋，所述第一限位凸筋包括与所述片架配合的限位弧面和/或限位斜面；
[0008]所述上盖上设有对所述弹性架进行限位的第二限位组件。
[0009]优选地，所述上盖包括端壁以及设置于所述端壁上且朝所述底壳方向延伸的侧壁；
[0010]所述侧壁沿所述端壁周向设置；/>[0011]所述第一限位凸筋为两组，两组所述第一限位凸筋设置于所述端壁上且与所述侧壁相接。
[0012]优选地，所述上盖包括端壁，所述端壁包括第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向；
[0013]所述第二限位组件包括凸出设置于所述端壁内侧且朝第一方向延伸的第二限位凸筋；所述第二限位凸筋为两组，两组所述第一限位凸筋沿所述第二方向并排且间隔设置；每组所述第二限位凸筋包括间隔设置的两个第二限位凸筋。
[0014]优选地，所述第二限位组件包括凸出设置于所述端壁内侧且朝第二方向延伸的第三限位凸筋；
[0015]所述第三限位凸筋为两组，两组所述第三限位凸筋沿所述第一方向并排且间隔设置；每组所述第三限位凸筋包括并排且间隔设置的四个第三限位凸筋。
[0016]优选地，所述第二限位组件还包括第四限位凸筋和第五限位凸筋；
[0017]每组所述第三限位凸筋中且位于中间的两个所述第三限位凸筋之间设置有所述第四限位凸筋；
[0018]每组所述第二限位凸筋的两个所述第二限位凸筋之间设置有所述第五限位凸筋，所述第五限位凸筋与所述第四限位凸筋并排且间隔设置。
[0019]优选地，所述上盖中设有卡勾，所述卡勾为两组，两组所述卡勾与两组所述第三限位凸筋一一对应设置，每一所述卡勾位于相邻设置的所述两个第三限位凸筋之间；
[0020]所述弹性架上设有与所述卡勾配合的卡台；所述卡台与所述卡勾一一对应设置。
[0021]优选地，所述底壳中设有对所述片架进行限位的第三限位组件；
[0022]所述底壳包括底壁，所述底壁上设有朝所述底壳内侧凸出凸台；
[0023]第三限位组件包括设置于所述凸台两相对侧的两个第六限位凸筋；
[0024]所述片架上设有与所述第六限位凸筋配合限位的限位卡口，所述限位卡口与所述第六限位凸筋对应设置。
[0025]优选地，所述底壳中设有对所述片架进行限位的第四限位组件；
[0026]所述第四限位组件包括设置于所述第六限位凸筋两相对侧的两组限位结构；
[0027]每组限位结构包括第七限位凸筋以及与所述第七限位凸筋相对且间隔设置的第八限位凸筋；
[0028]所述第七限位凸筋设置于所述底壁上，且朝所述底壳内侧凸出；
[0029]所述第八限位凸筋设置于所述凸台的侧壁。
[0030]优选地，所述片架包括相对且间隔设置的两个架体；
[0031]每个所述架体上设有对晶圆进行限位的第一限位槽；所述第一限位槽位于每个所述架体与另一所述架体相对设置的一侧；
[0032]所述弹性架包括基架以及间隔设置于所述基架上的两组弹片；所述弹片上设有与所述第一限位槽对应设置以对晶圆进行限位的第二限位槽；
[0033]所述第二限位槽的中心线与所述第一限位槽的中心线在竖直方向上位于同一平面且相互平行或重叠。
[0034]优选地，所述第二限位槽的两相对设置的槽壁由根部沿设定角度向外延伸，以增大所述第二限位槽的开口
[0035]所述第二限位槽的两相对设置的槽壁形状不同，使得相邻设置的两个所述弹片的间隙呈曲线设置。
[0036]实施本技术的晶圆包装盒，具有以下有益效果：该晶圆包装盒通过在第一限位凸筋上设置于该片架配合的限位弧面和/或限位斜面，进而可极大减小该上盖与该片架的接触面积，能减少在运输过程中因摩擦和碰撞产生颗粒物，提高产品洁净度；通过在该上盖中设置第二限位组件，从而可能防止弹片架在运输过程中因撞击而发生变形，进而防止晶圆错槽或者弹片架和晶圆受损。
附图说明
[0037]下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：
[0038]图1是本技术一些实施例中晶圆包装盒的结构示意图；
[0039]图2是图1所示晶圆包装盒的结构分解示意图；
[0040]图3是图1所示晶圆包装盒的剖视图；
[0041]图4是图3所示晶圆包装盒的局部结构放大示意图；
[0042]图5是图1所示晶圆包装盒的另一剖视图；
[0043]图6是图1所示晶圆包装盒的上盖和弹性架装配的结构示意图；
[0044]图7是图6所示晶圆包装盒的上盖的结构示意图；
[0045]图8是图7所示上盖的局部结构放大示意图；
[0046]图9是图1所示晶圆包装盒的底壳的结构示意图；
[0047]图10是图6所示晶圆包装盒的弹性架的结构示意图；
[0048]图11是图10所示晶圆包装盒的弹性架的剖视图。
具体实施方式
[0049]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。
[0050]图1及图2示出了本技术晶圆包装盒一些优选实施例。该晶圆包装盒可用于储存和运输晶圆100，其可避免晶圆包装盒在储存或运载过程中受外力冲击时因晶圆100发生跳动导致晶圆100受损，保证了晶圆100运输时的安全，提升晶圆包装盒的稳定性与可靠性，减少了用户运输损失，提升用户体验。
[0051]如图1至图5所示，进一步地，在一些实施例中，该晶圆包装盒可包括底壳20、上盖10、片架30、弹性架40以及密封圈50。该上盖10可盖合该底壳 20并与该底壳20可拆卸连接。该底壳20可与该上盖10配合套设于该片架30 的外围。该片架30可用于收容晶圆100。该弹性架本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆包装盒，其特征在于，包括底壳(20)、与所述底壳(20)配合的上盖(10)、设置于所述底壳(20)中用于支撑晶圆(100)的片架(30)、以及设置于所述上盖(10)中用于对晶圆(100)进行限位的弹性架(40)；所述上盖(10)上设有对所述片架(30)进行限位的第一限位组件；所述第一限位组件包括凸出设置于所述上盖(10)中的第一限位凸筋(13)，所述第一限位凸筋(13)包括与所述片架(30)配合的限位弧面(132)和/或限位斜面(131)；所述上盖(10)上设有对所述弹性架(40)进行限位的第二限位组件(14)。2.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述上盖(10)包括端壁(101)以及设置于所述端壁(101)上且朝所述底壳(20)方向延伸的侧壁(102)；所述侧壁(102)沿所述端壁(101)周向设置；所述第一限位凸筋(13)为两组，两组所述第一限位凸筋(13)设置于所述端壁(101)上且与所述侧壁(102)相接。3.根据权利要求1所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述上盖(10)包括端壁(101)，所述端壁(101)包括第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向；所述第二限位组件(14)包括凸出设置于所述端壁(101)内侧且朝第一方向延伸的第二限位凸筋(141)；所述第二限位凸筋(141)为两组，两组所述第一限位凸筋(13)沿所述第二方向并排且间隔设置；每组所述第二限位凸筋(141)包括间隔设置的两个第二限位凸筋(141)。4.根据权利要求3所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述第二限位组件(14)包括凸出设置于所述端壁(101)内侧且朝第二方向延伸的第三限位凸筋(142)；所述第三限位凸筋(142)为两组，两组所述第三限位凸筋(142)沿所述第一方向并排且间隔设置；每组所述第三限位凸筋(142)包括并排且间隔设置的四个第三限位凸筋(142)。5.根据权利要求4所述的晶圆包装盒，其特征在于，所述第二限位组件(14)还包括第四限位凸筋(143)和第五限位凸筋(144)；每组所述第三限位凸筋(142)中且位于中间的两个所述第三限位凸筋(142)之间设置有所述第四限位凸筋(143)；每组所述第二限位凸筋(141)的两个所述第二限位凸筋(141)之间设置有所述第五限位凸筋(144)，所述第五限位凸筋(144)与所述第四限位凸筋(143)并排且间隔设置。6.根据权利要求4所述的晶圆包装盒，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱摩西，刘汝拯，陈松平，何江波，
申请(专利权)人：义柏科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：