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本实用新型公开了一种溅射腔用上盖锁紧装置，包括第一放置块、第二放置块、两个限位块、卡块、两个第一弹簧，第一放置块位于第二放置块的正上方，卡块固定位于第一放置块的底部，第二放置块顶部开设有第一放置槽，第二放置块的左侧与右侧均设有相互对称的第二...
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