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本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域,尤其涉及一种多晶硅还原炉底盘激光清洗设备,其包括:车架,其上设有行走轮;回转机构包括:回转支架和回转驱动组件;回转支架能够枢转地设在车架上;回转驱动组件设在车架上,与回转支架传动连接;直线移动机构设在回...该专利属于新疆大全新能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新疆大全新能源股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域,尤其涉及一种多晶硅还原炉底盘激光清洗设备,其包括:车架,其上设有行走轮;回转机构包括:回转支架和回转驱动组件;回转支架能够枢转地设在车架上;回转驱动组件设在车架上,与回转支架传动连接;直线移动机构设在回...