下载反应器、包括其的工艺处理装置及反应器制造方法的技术资料

文档序号:34286875

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本发明涉及由多个部件组装而成的反应器。根据本发明一实施例的反应器的内部设有等离子体形成空间,且上述反应器包括主体,其中,上述主体形成有气体流入上述等离子体形成空间的流入口,及流体自上述等离子体形成空间向外部流出的排出口,上述部件之间的组装线...
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