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超导装置制造方法及图纸
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文档序号:34286754
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本公开内容描述了一种超导装置,该超导装置包括延伸通过超导基层的沟槽和腔。沟槽穿过腔。超导装置还包括第一结层、绝缘层以及第二结层,第一结层从超导基层的第一区域延伸至腔,绝缘层在第一结层表面上,第二结层从超导基层的第二区域延伸至腔。第二结层与绝...
该专利属于IQM芬兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过IQM芬兰有限公司授权不得商用。
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