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用于沉积层的方法和系统技术方案
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下载用于沉积层的方法和系统的技术资料
文档序号:34286512
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描述了用于沉积材料的系统和相关方法。该系统允许在衬底上冷凝或沉积前体,然后固化冷凝或沉积的前体以形成层。凝或沉积的前体以形成层。凝或沉积的前体以形成层。
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该专利属于ASMIP私人控股有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASMIP私人控股有限公司授权不得商用。
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