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本发明是以光谱量测物质的物理状态的装置及其方法，该装置包括：容置一待测物质的第一作用路径、侦测光谱的侦测单元、以及基于该光谱得到关于该待测物质的沉积状态的处理单元。本发明能在形成沉积物时即提供先期监测，从而可实时观察和/或控制沉积过程，以大...
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