温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体结构的形成方法，包括：提供待刻蚀层，待刻蚀层包括第一区和第二区；在第一区上形成第一核心层；在第一核心层侧壁形成侧墙材料层；在待刻蚀层上形成第二核心层；在第二区上形成阻挡层，部分阻挡层内具有隔断沟槽；对第二核心层进行改性处理，在第二...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。