下载半导体结构的形成方法的技术资料

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一种半导体结构的形成方法,包括:提供衬底,所述衬底包括基底以及位于所述基底上的若干相互分立的鳍部;在所述衬底上形成若干初始栅极结构;在所述初始栅极结构的顶部表面形成保护层;在所述保护层上形成图形化层,所述图形化层内具有若干图形化开口,所述图...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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