下载一种半导体器件及其制作方法的技术资料

文档序号:34248084

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本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,所述半导体器件包括:衬底,且所述衬底包括第一区域和第二区域;浅沟槽隔离结构,设置在所述第一区域和所述第二区域上,且所述浅沟槽隔离结构低于所述衬底表面,形成开口;介质层,设置在所述开口内和所述衬底上,且...
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