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本发明提供了一种曝光机,涉及曝光机领域,包括光源、前置光路模块、后置光路模块、掩模模块和加工平台模块,前置光路模块包括两级以上的反射组件,两级以上的反射组件中的其中一级反射组件为转动组件;转动组件包括绕预设空间轴线转动的反射镜;反射镜具有至...该专利属于广东科视光学技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东科视光学技术股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种曝光机,涉及曝光机领域,包括光源、前置光路模块、后置光路模块、掩模模块和加工平台模块,前置光路模块包括两级以上的反射组件,两级以上的反射组件中的其中一级反射组件为转动组件;转动组件包括绕预设空间轴线转动的反射镜;反射镜具有至...