温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例公开了一种硅片双面研磨装置的静压板及硅片双面研磨装置，所述静压板包括：板体，所述板体形成有通孔，所述通孔用于使流体在压力的作用下穿过所述板体流动至硅片与所述板体之间，使得所述硅片能够通过流体静压被支承以便进行研磨；嵌入在所述板体...
该专利属于西安奕斯伟材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。