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本发明属于微机电系统气体传感器芯片技术领域，涉及一种石墨烯/二硫化钨的气体传感器的制备工艺，包括：在基底的上表面沉积绝缘层；将基底超声清洗，在绝缘层表面沉积厚度形状可控的插齿电极；利用湿法转移将石墨烯层平整地转移至插齿电极表面；配制10mg...
该专利属于镇江市电子管厂所有，仅供学习研究参考，未经过镇江市电子管厂授权不得商用。

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