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本实用新型提供一种用于微机电系统装置的梳状驱动器及梳状驱动器的分压电路。梳状驱动器包括可相对运动的第一组梳状齿和第二组梳状齿及若干电容器对。第一组梳状齿中的部分电连接到HIN，另一部分电连接到另一个独立的HIN，以形成在第一方向上交替布置的...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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