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一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置制造方法及图纸
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下载一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置的技术资料
文档序号:34212679
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本实用新型公开了一种半导体元器件加工车间湿度保持节能装置,包括雾化器,所述雾化器连接有加热装置,所述加热装置设有中心管,中心管的一端设有若干中空的扩散盘,扩散的侧壁设有扩散孔和第一加热线圈,所述雾化器雾化后的水雾通过加热线圈加热后经扩散孔扩...
该专利属于日照皓诚电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日照皓诚电子科技有限公司授权不得商用。
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