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青岛百顿坩埚有限公司
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一种碳化硅石墨坩埚用表面处理装置制造方法及图纸
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下载一种碳化硅石墨坩埚用表面处理装置的技术资料
文档序号:34210982
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本实用新型公开了一种碳化硅石墨坩埚用表面处理装置,包括底座和用于对坩埚进行固定的紧固部件,所述紧固部件包括设于底座上方的放置板、分别开设于放置板顶部四周的滑槽、设于滑槽内的滑块、设于滑块顶部的紧固板、与滑块相配合的双向螺杆、用于提高固定效果...
该专利属于青岛百顿坩埚有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛百顿坩埚有限公司授权不得商用。
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