下载半导体结构的制造方法和半导体结构的技术资料

文档序号:34204328

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本发明提供一种半导体结构的制造方法和半导体结构,涉及半导体制造技术领域,旨在解决现有的半导体结构制造过程中的热预算较高,且炉管的无定形硅层影响功函数层对晶体管的功函数调节过程的问题。本发明的半导体结构的制造方法包括形成第一堆栈层;在第一堆栈...
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