下载一种半导体器件及其制备方法的技术资料

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本申请提供一种半导体器件及其制备方法,涉及半导体技术领域,栅极金属与第一P型轻掺杂层形成肖特基接触,由于第一P型轻掺杂层的掺杂浓度较低,可以提高栅极正向耐压的同时降低栅极漏电流。并且借助P型重掺杂层的较高掺杂浓度对能带进行调整降低栅极下方沟...
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