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单晶金刚石表面缺陷自动识别与修复方法技术
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文档序号:34191644
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单晶金刚石表面缺陷自动识别与修复方法,本发明的目的是为了解决现有MPCVD法进行单晶金刚石制备过程中,由于工艺不合理导致金刚石表面产生宏观缺陷,从而影响其性能、增加产品成本等问题。自动识别与修复方法:一、对含缺陷的单晶金刚石图像进行扩展;二...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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