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可变电容元件及内置可变电容元件的集成电路制造技术
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下载可变电容元件及内置可变电容元件的集成电路的技术资料
文档序号:3419076
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一种可变电容元件,包括: 埋入电极层,在半导体衬底的上表面区域部分由导电型与所述半导体衬底不同的半导体层形成; 布线层,与在所述埋入电极层的上方形成的所述埋入电极层的引出部连接; 一对电容绝缘膜,分别在所述埋入电极层的除所...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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