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本发明公开了一种石墨烯湿度传感器及其制备方法，石墨烯湿度传感器包括SiO2/Si衬底，所述SiO2/Si衬底上设置有等离子体改性的石墨烯，所述等离子体改性石墨烯两端设有平行的金属电极，所述等离子体改性石墨烯为单层或少层石墨烯。制备方法主要包...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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