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本发明涉及一种塑封集成电路批量超声波扫描检查装置及方法,塑封集成电路批量超声波扫描检查装置包括第一托盘和第二托盘,第一托盘以及第二托盘均为平板状结构;第一托盘上开设有多个贯穿第一托盘相对两边的第一通槽,第一通槽的一端槽口设有第一进气半管;第...该专利属于中国科学院空间应用工程与技术中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院空间应用工程与技术中心授权不得商用。
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本发明涉及一种塑封集成电路批量超声波扫描检查装置及方法,塑封集成电路批量超声波扫描检查装置包括第一托盘和第二托盘,第一托盘以及第二托盘均为平板状结构;第一托盘上开设有多个贯穿第一托盘相对两边的第一通槽,第一通槽的一端槽口设有第一进气半管;第...