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本实用新型公开了一种新型硅片承载装置，包括竖梁、横梁组成的外框，横梁包括位于外框两侧的边横梁、位于外框中间部位的中间横梁；竖梁包括竖梁导轨条及与竖梁导轨条固定连接的竖梁卡槽，竖梁卡槽通过法兰与横梁连接；所述边横梁由主横梁和副横梁组成；拉筋通...
该专利属于南通玖方新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通玖方新材料科技有限公司授权不得商用。

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