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单线三线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统技术方案
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文档序号:34183902
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本申请实施例提供一种单线三线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统,其中,方法包括:沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对硅棒进行切割,切割后形成第一侧面,第一侧面的宽度小于硅棒的直径;沿着硅棒的长度方向通过一条切割线对硅棒进行切割,切割后形成第二...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。
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