温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于磁控溅射区域的降温装置，包括外壳与内壳，内壳的内部设有磁控溅射镀膜腔，外壳与内壳之间设有降温腔，降温腔的内部且位于内壳的外侧呈螺旋状缠绕有冷却管，冷却管的内部设有冷却水，冷却管的两端延伸至外部并进行相连，冷却管上固定...
该专利属于兰州交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过兰州交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。