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本发明属于光学工程领域和精密测量技术领域，具体涉及一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法。在光悬浮加速度传感器中，通过测量微粒的位移信息，再通过傅里叶变换获得微粒的谐振频率，从而获得加速度传感器的标度因数。该方法获取标度因数的速度与微...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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