一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法技术

本发明专利技术属于光学工程领域和精密测量技术领域，具体涉及一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法。在光悬浮加速度传感器中，通过测量微粒的位移信息，再通过傅里叶变换获得微粒的谐振频率，从而获得加速度传感器的标度因数。该方法获取标度因数的速度与微粒位移采集的速度相当，因而可以实现高速在线测量标度因数。本发明专利技术无需测量刚度系数和微粒质量等参数，不需要进行实验标定，还具有结构简单、实用性强和适用范围广等优点。用性强和适用范围广等优点。用性强和适用范围广等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法


[0001]本专利技术属于光学工程领域和精密测量
，具体涉及一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法。

技术介绍

[0002]加速度传感器一般由支承结构和质量块构成，当质量块受到加速度的作用时，质量块会产生位移，同时支承结构产生形变。一般质量块的位移量与输入的加速度值成比例关系，该比值称为“标度因数”，通过测量质量块的位移量可以计算得到加速度值。常规支承结构一般由弹簧、悬臂梁等构成，具有难以避免的机械噪声。此外，支承材料应力的持续释放还会引入积累误差。
[0003]光悬浮是一种新型的操纵工具，被广泛应用于生命科学、基础物理和精密测量等领域。特别在精密测量方面，光悬浮技术已经实现了仄牛量级力灵敏度，幺克级质量灵敏度，微重力加速度量级的加速度灵敏度等。其具有无接触式悬浮、损伤小、精度高等优点，因而采用光悬浮作为支承方式制作加速度计可以有效避免机械噪声和积累误差，是实现高精度加速度传感的重要技术方案。
[0004]准确获取标度因数是光悬浮加速度传感器实现高精度应用的重要前提，一般本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线测量光悬浮加速度传感器标度因数的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，搭建光镊系统捕获微粒：采用捕获激光、聚光透镜搭建光镊系统，构建三维光学势阱；装载微粒进入光学势阱区域，实现光镊系统捕获微粒；步骤二，获取微粒的位移信息；步骤三，获取微粒的谐振频率Ω：对微粒任意维度的位移信息进行傅里叶变...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖光宗，邝腾芳，熊威，韩翔，陈鑫麟，安辉，罗晖，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：