下载一种柔性触觉传感器及其制备方法和应用的技术资料

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本发明公开了一种柔性触觉传感器及其制备方法和应用。本发明的柔性触觉传感器的组成包括依次层叠设置的第一柔性包封层、柔性基底、压电敏感层、电极层和第二柔性包封层,柔性基底为单层云母片,压电敏感层为ZnO纳米棒阵列层,电极层具有共面横向结构。本发...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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