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一种半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:34175527
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本申请实施例提供了一种半导体器件及其制造方法,方法包括:在晶圆表面形成的晶体管阵列的各柱状沟道的周围,形成环绕柱状沟道的栅极;栅极包括相互连接的第一栅极和第二栅极,且第一栅极以第一包围角度包围柱状沟道,第二栅极以第二包围角度包围柱状沟道;第...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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