下载降低拉直硅芯棒晶体隐裂的方法及装置的技术资料

文档序号:34172955

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本发明提供了一种降低拉直硅芯棒晶体隐裂的方法及装置,包括以下步骤:为制备硅芯棒晶体的单晶炉设备通冷却水,使所述单晶炉设备的温度控制在预设范围;在所述单晶炉设备的导流筒上部设置固化毡、热屏装置;启动所述单晶炉设备,进入晶体生长阶段;当所述晶体...
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