温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法，在传统石英膜片的基础上，利用光刻与氢氟酸腐蚀技术制备得到双面凹槽型的石英膜片，减小了石英膜片的中心厚度，石英膜片在受到超声波作用时能够产生更大的形变量，传感器对局部放电信号的捕捉更敏感和精...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。