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本公开公开了一种提高外延片质量的外延托盘，属于外延生长技术领域。外延托盘为圆柱体，外延托盘的第一表面具有多个同心的衬底放置圈，每个衬底放置圈都包括多个沿外延托盘的周向均匀分布的圆形凹槽。圆形凹槽的深度为1000～1500微米，每个圆形凹槽内...
该专利属于华灿光电（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华灿光电（浙江）有限公司授权不得商用。

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