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本实用新型提供一种单晶薄膜体声波谐振器。该谐振器按照从下向上的顺序依次包括衬底层、布拉格反射层、第一键合层、第二键合层、压电层和电极层;所述电极层的宽度小于所述压电层;所述谐振器还包括第一氧化硅层和第二氧化硅层,所述第一氧化硅层和所述第二氧...该专利属于河源市艾佛光通科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河源市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种单晶薄膜体声波谐振器。该谐振器按照从下向上的顺序依次包括衬底层、布拉格反射层、第一键合层、第二键合层、压电层和电极层;所述电极层的宽度小于所述压电层;所述谐振器还包括第一氧化硅层和第二氧化硅层,所述第一氧化硅层和所述第二氧...