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本发明公开一种电容式应变传感器及其制备方法，涉及应变传感器领域。该电容式应变传感器包括通过导线连接的电容模块和电感模块，电容模块由下至上依次包括绝缘薄膜衬底、叉指电极及氮化铝压电薄膜。本发明可有效提高应变检测的灵敏度，而且该传感器具有结构简...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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