电容式应变传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开一种电容式应变传感器及其制备方法，涉及应变传感器领域。该电容式应变传感器包括通过导线连接的电容模块和电感模块，电容模块由下至上依次包括绝缘薄膜衬底、叉指电极及氮化铝压电薄膜。本发明专利技术可有效提高应变检测的灵敏度，而且该传感器具有结构简单，成本低的优点。本低的优点。本低的优点。

【技术实现步骤摘要】
电容式应变传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及应变传感器领域，尤其涉及一种电容式应变传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]轴承在电力、石化、机械、航空航天等多个工业领域中广泛应用，具备运行精度高、可替代性好、价格低廉、易于大批量制造等一系列优点，是机械设备，特别是旋转机械系统中的核心组成部件。作为机械设备中连接旋转部件与固定部件的“关节”，轴承在运转过程中会受到多种交变载荷的作用，随着时间的推移，其运行状态会不可避免的发生变化，因此，需要一种传感器能对轴承在旋转环境下进行应变测试。
[0003]应变传感器能设置在待测轴承的表面，将待测表面的无法直接测量的机械应变量转换为可直接测量的电参数，从而获得待测轴承上待测表面的应变量的大小。
[0004]应变传感器可分为以下几类：电阻式、电容式、压电式和基于晶体管的场效应传感器。其中，大部分是基于压阻效应，其基本原理是将器件在受外力(压力、弯曲等)作用产生的应变转化为电阻信号进行输出。但是电阻应变片因易受环境(如电磁场、温度、湿度、化学腐蚀等)影响，精度较低，对于大应变有较本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电容式应变传感器，其特征在于，包括通过导线连接的电容模块和电感模块，所述电容模块由下至上依次包括绝缘薄膜衬底、叉指电极及氮化铝压电薄膜。2.根据权利要求1所述的电容式应变传感器，其特征在于，所述绝缘薄膜衬底为聚酰亚胺薄膜。3.根据权利要求1或2所述的电容式应变传感器，其特征在于，所述电感模块包括氧化铝陶瓷基板和形成在所述氧化铝陶瓷基板上的螺旋形电感线圈。4.一种电容式应变传感器的制备方法，其特征在于，包括：(1)对绝缘薄膜衬底进行表面处理；(2)在表面处理后的所述绝缘薄膜衬底上形成叉指电极和引线电极；(3)在所述叉指电极上形成氮化铝压电薄膜；(4)制作电感模块；(5)电连接所述电感模块与所述引线电极。5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)包括：采用聚酰亚胺材料为绝缘薄膜衬底，先后采用丙酮、乙醇、去离子水对所述绝缘薄膜衬底进行清洗，清洗后去除残...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭秋林，张磊，董和磊，李美朴，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：