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本发明涉及夹持设备领域，公开了一种用于光罩的手持式夹具，包括安装架、夹持组件、传动组件、驱动组件和卡死组件，安装架的一端固定有手持部；夹持组件包括左夹具和右夹具，左夹具和右夹具对称设置，且均滑动安装在安装架的底侧；传动组件包括第一齿条、第二...
该专利属于威科赛乐微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过威科赛乐微电子股份有限公司授权不得商用。

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